《智能真空在线镀膜测厚仪》PDF+DOC
作者:张金敏,王思明
单位:北京京仪仪器仪表研究总院有限公司
出版:《仪器仪表与分析监测》2004年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQYB2004010070
DOC编号:DOCYQYB2004010079
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介绍了一种基于 ATMEL AVR85 1 5单片机控制的真空在线镀膜测厚仪的工作原理 ,给出了用于真空镀膜在线厚度测量的测量原理及该测量仪的硬件组成原理和相应的软件设计方法和流程框图。该测厚仪设计了与上位计算机进行远距离信号传输的 RS- 2 32 C接口 ,通过上位计算机可以实现测厚仪系统参数的设定和控制。实际应用表明该仪器具有良好的性能和可靠性
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