《利用无机盐制备γ-Al_2O_3粉体与薄膜的工艺技术研究》PDF+DOC
作者:杨志华,余萍,肖定全,王欢
单位:国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会
出版:《功能材料》2004年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGNCL2004040250
DOC编号:DOCGNCL2004040259
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发明了γ Al2O3基陶瓷气敏传感器材料体系,并正研究其薄膜型传感器件。本文以廉价的无机盐Al(NO3)3·;9H2O为原料,通过溶胶 凝胶法制备了勃姆石(γ AlOOH)溶胶,然后经干燥、煅烧制备了γ Al2O3的粉体,并通过旋转涂覆工艺制备了γ Al2O3的薄膜,应用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、原子力显微镜(AFM)等现代分析技术对粉体的物相和薄膜的组分及表面形貌进行了表征,对γ AlOOH溶胶制备过程中的一些影响因素进行了探讨,得出了比较好的制备γ Al2O3基陶瓷粉体和薄膜型气敏传感器的工艺技术条件。
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