作者：闫卫平,朱剑波,马灵芝,杜立群 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004040200 DOC编号：DOCCGJS2004040209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni：80 % ，Cr ：2 0 % )金属薄膜 ，探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响。在一定直流电压条件下 ，Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到 10 0℃ ，且升温速率皆大于 0 5 0 C/s。通过测量微加热器的电阻温度曲线 ，表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性 ，能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求。

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