作者：尹汐漾,高杨,韩宾,刘婷婷 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2016年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2016010140 DOC编号：DOCYDSG2016010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种膜片上薄膜体声波谐振器(FBAR)结构的伽马辐照剂量计。采用FBAR替代传统伽马辐照检测元件来实现伽马辐照剂量检测的新方法，并提出FBAR呈阵列式分布的结构，可实现辐照剂量和分布的检测。为了对FBAR进行温度补偿，设计了由SiO2与Si3N4组成的双层复合薄膜，SiO2的温度系数为+85&#215；10-6/℃，与具有负温度系数的压电层进行复合，减小了温漂，同时增加了膜片的强度。给出了两种不同结构的阵列式伽马辐照剂量计详细的工艺路线；可望满足阵列式、高灵敏度、微小型化伽马辐照剂量检测的需求。

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