作者:王俊杰,罗裴 单位:武汉理工大学 出版:《武汉理工大学学报》2004年第09期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWHGY2004090030 DOC编号:DOCWHGY2004090039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于微机械工艺制作的加速度计 ,许多都是采用差动结构电容的变化来反映被测量的方向和大小。针对该需求研制了检测微小电容变化的电路。它检测电容变化的频率范围为 DC~ 30 k Hz,对寄生电阻、电容本质不敏感 ,既可以检测单边电容变化 ,也可以检测差动电容变化 ,而且很容易由分离电路元件实现。该电路输出噪声极低 ,标称电容为 10p F时 ,电容检测分辨率可达 3a F/ Hz,和量程为 1g的电容加速度计连接 ,输出灵敏度为 4 .5 V/ g,加速度检测分辨率可达 7× 10 - 6 g/ Hz

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