作者：欧阳八生,李天宝 单位：大连组合机床研究所:中国机械工程学会生产工程分会 出版：《组合机床与自动化加工技术》2004年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZHJC2004060330 DOC编号：DOCZHJC2004060339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 计研制一种用于成形表面接触式在线测量的超精度测量仪。它的优点如下 ：①测量力很小 ，(约 0 .0 0 1～ 0 .0 0 15N) ，对被测表面不会产生划伤、刮痕 ；②测量精度高 ，测量仪测头的倾斜与滑动引起的测量误差很小 ，且其运动通过极小型的激光干涉差分传感器进行检测 ，因此 ，其测量数据的相关性和重复性比传统的传感器要好得多 ，测量数据的重复性3σ小于 0 .1μm ；③可实时进行测量 ，从测量仪测得的数据通过电脑同步输出 ，生产效率高。

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