《精密定位装置光栅倾斜时的定位精度》PDF+DOC
作者:周礼中,谢勇,古桥秀夫,内田悦行
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2004年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2004090260
DOC编号:DOCCGQJ2004090269
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介绍了激光莫尔信号精密定位装置中光栅倾斜时莫尔信号的位移特性,给出了光栅倾斜时差动式和修正式精密定位方法、定位精度的计算机仿真计算结果,说明了装置中光栅设定的角度倾斜如何影响精密定位装置的定位精度。
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