作者：李斌,李观启,黄美浅,刘玉荣,陈平 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2004年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2004100100 DOC编号：DOCDZAL2004100109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用氩离子束溅射技术，分别在SiO2/Si衬底上淀积了0.5 mm、1 mm和2 mm的Ba1-xLaxNbyTi1–yO3薄膜，并探讨了薄膜厚度对MIS电容湿敏特性的影响以及薄膜厚度对薄膜电阻的光敏和热敏特性的影响。实验结果表明：0.5 mm膜厚的MIS电容传感器具有比2 mm膜厚的MIS电容传感器高9倍的湿敏灵敏度。用孔隙率和孔径分布物理模型分析得出，薄膜越薄，膜的孔隙率越高，器件的湿敏灵敏度越高。反之，薄膜越厚，光吸收越强，薄膜电阻的光敏灵敏度越高；但薄膜厚度对薄膜电阻热敏特性的影响甚微，敏感机理与薄膜的微观结构可解释这些现象。

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