作者：俞志根 单位：中国机械工程学会;广州机械科学研究院 出版：《机床与液压》2016年第20期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCYY2016200100 DOC编号：DOCJCYY2016200109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 导电塑料角位移传感器中的膜电阻是其核心结构，直接影响传感器的各种输出性能，必须依靠修刻才能满足要求。激光修刻技术是近几年出现的膜电阻修刻新技术，利用了激光微加工精准、非接触并快速的优势，能达到非常高的修刻精度和效率。激光修刻系统主要由带自动调焦激光器、工件自动装卸机构、回转修刻台、阻值在线检测电路和工控机等组成。膜电阻修刻算法是实现快速高精度修刻的关键，依据离散逼近修正理论，通过采用反馈电压算法实现系统的自动修刻控制，试验结果表明：激光修刻系统能达到0.1%的电阻修刻精度和3 min/个的修刻速度。

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