作者：薛伟,王晶,崔天宏 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2004年第05期 页数：13页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2004050080 DOC编号：DOCGXJM2004050089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于硅加工的高灵敏微型隧道传感器在过去15年里得到了充分的发展。多种隧道传感器被开始出来，例如加速度计，角速度计，红外传感器，磁性传感器等。首先对基于硅加工的隧道传感进行了简单的总结。对四种传感器进行了总结和讨论，包括几种器件的结构设计，加工过程，器件性能，控制电路和系统噪音。特别介绍了一种新型的基于高分子聚合物的隧道加速度计，并讨论了其结构，加工与测试，隧道效应得到了进一步验证。同时给出了这种新型高灵敏传感器在很多领域的应用展望。

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