作者：高世桥,曲大成 单位：中国科学技术协会 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJDB2004040040 DOC编号：DOCKJDB2004040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统是源于微电子加工技术 ，融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统。其特征尺寸极小 ，学科交叉广泛 ；技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面 ；学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域 ，在民品和军品领域有许多热点应用。本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器 ，以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的发展前景。

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