作者：刘景春,邓永和,李玉琮 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2004年第03期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2004030090 DOC编号：DOCBDTQ2004030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种经特殊工艺处理的电容式压力微传感器，分析和论证了其结构设计、工作原理和测量电路。

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