作者：季振国,孙兰侠,何振杰,范镓,王玮,方向生,陈裕泉 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004020250 DOC编号：DOCCGJS2004020259 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用无机试剂SnCl2 &#183；2H2 O及InCl3&#183；4H2 O为原料 ，用溶胶 -凝胶提拉法制备了铟锡比不同的氧化铟锡薄膜构成的气敏传感器阵列 ，并对薄膜的电学性能及气敏性能进行了表征。结果表明 ，不同铟锡比组成的氧化铟锡薄膜不但载流子浓度不同 ，而且导电类型也不同 ，即阵列中每个传感器薄膜的载流子浓度和导电类型是不同的。当气体分子与阵列中的传感器表面接触时 ，由于载流子种类、载流子浓度、费米能级等的不同 ，导致电荷转移情况也不同 ，使得阵列具有很好的选择性。通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯的测试 ，证明此阵列对四种室内污染气体具有较好的选择性。

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