作者：全宇军,邱法斌,申宇爽,村山宣光 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2004年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2004110040 DOC编号：DOCYBJS2004110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在玻璃衬底上采用RF溅射法制备非晶SiGe薄膜的基础上，采用金属Ni诱导法对所制备的薄膜进行晶化烧结，并以Pt催化氢氧化放热反应和SiGe薄膜的热电势效应为原理制备出了小型热电势氢传感器。测试表明：以500℃烧结所得SiGe薄膜材料为敏感基体，在100℃工作温度下所制备的传感器对3%H2灵敏度为0 7mV，检测的浓度范围大约为0 02%～5%，且输出电压随着烧结温度的升高而升高。

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