《高精度电容测微仪关键技术》PDF+DOC

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2. 《数字式电容测微仪的研制》PDF+DOC 本文研制了一种用于微位移和振动测量的新型仪器——数字式电容测微仪，介绍了它的工作原理、性能指标以及特点，分析了电容传感器两极板不平行对测量精度的影响程度。测试表明该仪器具有体积小、精度高、成本低等优点，具有广泛的应用前景。...
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4. 《一种高分辨率接触式电容测微装置》PDF+DOC 目前，随着精密机械和精细技术的发展，对微小位移的测量已进入毫微米领域，精度和分辨率要求越来越高，并且希望使用环境不太苛刻、价格低廉、操作简便。电容测微在这方面很有潜力，以往在实验室条件下，有的分辨率达到0.1(?)，有的精度在100mm测量范围达0.04μm，有的稳定性方面达到每天漂移10~(-9)......
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6. 《改进电容测微仪稳定性的技术措施》PDF+DOC 简述了JDC系列精密电容测微仪的组成原理，介绍了为改进仪器的稳定性而对稳压电源、主放大器、参比电容、传感器、滤波电路等组成环节所采取的一些技术措施。...
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