《双光栅干涉仪数字式位移传感器的研究》PDF+DOC
作者:曲伟
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2004年第10期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2004100080
DOC编号:DOCCGQJ2004100089
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为了检定高准确度位移传感器、几何量计量定位、微细加工测量,同时,也测量那些可以转换为微位移或光程差的其它物理量。基于双光栅干涉仪原理,设计了一种数字式位移传感器,对该装置进行了理论分析和计算机模拟,实验验证:该测量装置的绝对误差不大于0.019μm。
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