作者：张金龙 单位：南京师范大学 出版：《南京师范大学学报(工程技术版)》2004年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNJSE2004010090 DOC编号：DOCNJSE2004010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 应用激光莫尔信号传感器设计了一套精密定位装置 ，可实现高精度位置检测及精密自动定位 ；系统采用的激光补偿技术及差动光栅技术 ，极大地提高了位置检测信号的灵敏度与定位精度 .实验结果表明 ，精密定位装置可获得&#177； 0 1μm的定位精度 ，对集成电路制造技术等精密加工工程领域具有重要的实用价值

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