作者：郭楠,张国军,刘梦然,简泽明,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2015年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2015090040 DOC编号：DOCBDTQ2015090049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对小体积水下装置平台对声目标空间定位的高精度需求，在单个二维硅微MEMS仿生矢量水声传感器的基础上，提出一种组合式MEMS三维矢量水声传感器，解决当前二维矢量水声传感器不能实现对声目标进行空间定向的难题。该组合式MEMS三维矢量水声传感器包括由正交方向上两个四梁-柱体组成的二维水平检测单元。首先理论分析提出的组合式MEMS三维矢量水声传感器的空间定向原理，然后采用标准硅微加工工艺制作组合式MEMS三维矢量水声传感器样机。利用回转装置对加工出的组合式MEMS三维矢量水声传感器样机进行性能测试。测试结果表明，该组合式MEMS三维水声传感器在空间三个方向均具有良好的“8”字形指向性，可以实现对声目标的三维探测。

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