作者:闫卫平,朱剑波,马灵芝,郭吉洪 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2004年第S1期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2004S11340 DOC编号:DOCYQXB2004S11349 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《金属薄膜电阻温度传感器的结构设计探讨(一)》PDF+DOC1991年第04期 陈佩娴 《性能优异的铂薄膜温度传感器》PDF+DOC1987年第06期 周鸿仁 ,刘秀蓉 ,恽正中 《金属薄膜厚度测量技术分析》PDF+DOC2020年第07期 李加福,朱小平,杜华,王凯,赵沫 《MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究》PDF+DOC2020年第06期 侯晓伟,刘莉娜,吕阳,郑良广,张丛春 《浅谈薄膜温度传感器》PDF+DOC1994年第06期 郑国良 《铜薄膜电阻温度传感器的研制》PDF+DOC1993年第04期 李光云,陈佩娴,杨年光,张振昭,曾广兴 《金属薄膜电阻温度传感器的结构设计探讨(二)》PDF+DOC1991年第05期 陈佩娴 《薄膜铜电阻温度传感器》PDF+DOC1987年第Z1期 武蕴忠,孙承龙,徐梅芳 《镍薄膜温度传感器》PDF+DOC1989年第02期 周鸿仁,刘秀蓉,恽正中 《关于镍薄膜热电阻研制的几个问题》PDF+DOC2002年第01期 周金芳,梁素珍
  • 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺,得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。

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