作者：邓永和,王冬青,曾庆丰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004020370 DOC编号：DOCCGJS2004020379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了利用微加工技术制造的电容式压力微传感器的结构设计 ，主要分析了其工作原理 ，论证了测量电路的可行性。最后提供了实验数据并和理论值进行了比较 ，讨论了产生误差的原因。

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