《室温下纳米多孔氧化铝湿度传感器的研究》PDF+DOC
作者:张会锐,张辉,杨青,张年生,杨德仁
单位:浙江大学
出版:《浙江大学学报(工学版)》2004年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDZC2004040070
DOC编号:DOCZDZC2004040079
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研究了纳米级多孔氧化铝为敏感膜的湿度传感器的制备、性能和感湿机理.用阳极氧化法制得纳米多孔氧化铝,用LCR测量仪研究了该传感器的电容和阻抗随湿度变化的特性,结果发现其电容特性和阻抗特性在33%~97%相对湿度(RH)范围内线性度很好.并用等效电路模型对传感器的复阻抗特性进行了分析,讨论了传感器的感湿机理.结果表明,在低湿下该传感器等效于一个R、C并联电路,以电子导电为主;在高湿下等效于两个R、C并联电路的串联,以离子导电为主。
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