作者:姚东媛,文彬,谢胜秋,邹向光 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2004年第09期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2004090150 DOC编号:DOCCGQJ2004090159 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。

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