作者：黄伟,周肇飞,张涛 单位：西南技术物理研究所 出版：《激光技术》2004年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJGJS2004060090 DOC编号：DOCJGJS2004060099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为适应现代加工技术的需要 ，研制了一种集成非接触式光电传感器 ，它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度 3种测量方式结合起来 ，实现同时测量 3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进行处理 ，其测量精度与单功能传感器相近。

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