作者:李梦超,傅星,魏小雷,胡小唐 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2004年第06期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2004060110 DOC编号:DOCYDSG2004060119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 从研究STM仪器对振动的敏感性出发,对基于隧道效应的纳米振动传感器的理论、技术及实现方法进行了初步的研究和探索,研制了具有压电陶瓷结构的传感器样机模型,并进行了振动检测试验。结果表明,基于隧道效应的测振传感器具有很高的灵敏度、良好的频率特性和与STM仪器一致的振动响应特性。

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