作者:林晓春,郭艳艳,胡志敏,李存志,郑亚娥,安毓英 单位:中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版:《Journal of Semiconductors》2004年第11期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTX2004110260 DOC编号:DOCBDTX2004110269 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 介绍了一种通过分析二元光束阵列的反射光图像 ,利用 Stoney方程解算出薄膜应力的在线测量传感器 .传感器是以二维 Damm ann光栅和 Fresnel波带板所组成的集成二元光学分束器为核心设计的 .该传感器可进行各种单晶、多晶和非晶结构材料沉积过程的现场应力测量 ,灵敏度优于 2 .5× 10 6 Pa,精度优于 4 .2 7% .它具有结构简单、测量速度快、适应性强、设备集成度高而且易于安装调试等特点 .与计算机自动控制系统相结合 ,可以应用于半导体集成电路生产线的薄膜生长过程控制

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