作者：庞科,张生才,姚素英,张为 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004010290 DOC编号：DOCCGJS2004010299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种新的改善传感器温度特性的方法。通过在压力传感器芯片上集成多晶硅电阻网络与温度传感器 ，借助传感器信号处理单元 ，可以方便地实现对灵敏度系数的补偿。经过补偿 ，传感器的零点温漂达到 1&#215；10 - 4/℃ ，灵敏度温漂低于 - 2&#215； 10 - 4/℃。这种方法补偿的温区宽 ，具有很强的通用性 ，使高温压力传感器十分有效的温度补偿方法。

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