作者：方震,赵湛,武宇,陈超,张博军 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2004年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2004030030 DOC编号：DOCIKJS2004030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于MEMS技术设计的集成温湿度传感器具有重量轻、体积小、成本低、易集成等特点 ，并可大大提高器件的一致性、可靠性 ，易形成批生产能力。本文首先从理论上分析了利用热电原理测量空气绝对湿度的可行性 ，然后利用有限元分析方法对湿度传感器进行了结构建模 ，并模拟铂电阻的升温与空气湿度的变化关系曲线。在此分析基础之上 ，得出测量绝对湿度的方法。

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