作者:赖建军,柯才军,陈四海,易新建 单位:中国电子科技集团第四十四研究所 出版:《半导体光电》2004年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTG2004030060 DOC编号:DOCBDTG2004030069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用。微透镜与红外256×256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显改善。

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