《微透镜阵列的制作及其与图像传感器的集成》PDF+DOC
作者:赖建军,柯才军,陈四海,易新建
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》2004年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG2004030060
DOC编号:DOCBDTG2004030069
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介绍了利用硅、熔融石英和聚酰亚胺等材料制作折射和衍射微透镜阵列的工艺和结果,以及这些微透镜阵列分别与红外、可见光图像传感器的集成应用。微透镜与红外256×;256PtSiCCD的集成结果表明,微透镜填充系数提高了2.3倍,成像质量明显改善。
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