作者：张彤,杨广立,李春明,徐宝琨 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2004年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2004050040 DOC编号：DOCIKJS2004050049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用有限元分析工具ANSYS，对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟。运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型，采用8节点等参数热单元solid70进行了分析。根据器件工作时需要的加热功率，设计了这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸，确立了对流和环境温度等边界条件，从而达到气体传感器衬底的温度场分布均匀的要求。

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