作者：徐永 单位：中国电子报社 出版：《电子设计技术》2004年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZSJ2004010170 DOC编号：DOCDZSJ2004010179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 我们的世界是运动的，因此对运动的测控有着广泛的应用。但过去，机械式传感器价格昂贵，寿命也有限，因此被局限在某些高端应用。采用 MEMS技术实现的加速度传感器不仅可靠性和寿命大幅提升，可以承受巨大的冲击力，并且可与采用标准 CMOS 工艺的处理电路相结合，从而形成大批量生产能力，在集成度和成本方面也都有质的飞跃。

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