作者：郑志霞,冯勇建 单位：莆田学院 出版：《莆田学院学报》2004年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFPTGZ2004030140 DOC编号：DOCPTGZ2004030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种新型电容式加速度微传感器的结构和原理，并进行受力分析。利用ANSYS进行有限元分析，得出加速度和电容之间的非线性关系，证明了该传感器在工艺设计上的可行性。设计合适的传感器结构参数和MEMS工艺流程，制作出满足不同测量要求、有较高精度的加速度传感器。

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