《超低温薄膜压力传感器的研制》PDF+DOC
作者:何迎辉,张修如,张舸
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2004年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2004090040
DOC编号:DOCCGSJ2004090049
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本文对薄膜压力传感器的原理、结构、工艺等进行了分析,并介绍了应用离子溅镀、激光调阻等技术研制成的一种小型超低温薄膜压力传感器。这种传感器测量范围宽、精度高、抗振动和抗腐蚀性强,能在-200℃~100℃温度范围内稳定可靠的工作。
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