作者：杨宏亮,鲍剑斌,王志勇,贺德建 单位：贵州省机电研究设计院;贵州省机械工程学会 出版：《现代机械》2004年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJX2004010070 DOC编号：DOCXDJX2004010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文研制了一种用于MEMS样品测试的六轴微力传感器。首先采用有限元法对特定结构的传感器进行了静力学分析 ，确定了其布片方案 ；然后通过软件实现对传感器输出进行六轴力 /力矩的解耦 ，这大大简化了后置解耦电路的设计并降低了成本 ；最后本文给出了六轴微力传感器的标定曲线 ，证明其可用于MEMS做样品力学特性测试。

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