作者：向莉,董永贵 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》2004年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB2004110090 DOC编号：DOCQHXB2004110099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 同面散射场式电容传感器极板所产生的电场呈散射状，传统的电磁场理论很难得到精确的解析解，给传感器的设计及性能优化带来很大困难。该文在电磁场分析的基础上，采用有限元分析的方法研究了传感器电极结构与敏感特性之间的关系，并通过实验对分析结果进行了验证。结果表明：在用于金属目标的非接触位移测量时，传感器两电极极板间的距离存在最优值；叉指结构传感器量程和灵敏度均优于普通结构传感器。

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