作者：赵毅强,姚素英,张生才,赵红,曲宏伟 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004020140 DOC编号：DOCCGJS2004020149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 油田测井用压力传感器在温度、量程和封装等方面有着特殊的要求 ，我们提出了一种新型多晶硅压力传感器 ，其工作温度高 (- 2 0～ 2 2 0&#176；C) ，压力量程宽 (2～ 30MPa) ，具有较高的稳定度 (&lt；4&#215； 10 - 4FS/&#176；C)。文中多晶硅膜的零点温漂TCR和灵敏度温漂TCS特性 ，给出了片内温度补偿的方法。

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