作者：张文栋,石云波 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2004年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2004010040 DOC编号：DOCNMJM2004010049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题 ，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器 .介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型 .给出了传感器的微结构照片及其性能参数

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