作者：佟建华,刘梦伟,崔岩,董维杰,王兢,崔天宏,王立鼎 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2004年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2004S10830 DOC编号：DOCYQXB2004S10839 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构，在外加电场的作用下，悬臂将发生弯曲并输出位移和力，形成微型执行器；在外加集中力和载荷的情况下，可以产生表面感应电荷，借此测量外界力和压力的大小，形成传感单元。这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明。

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