作者:龚超,夏善红,邓凯,白强,陈绍凤 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2004年第12期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2004120070 DOC编号:DOCBDTQ2004120079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 设计并分析了一种新型的以硅为基底、聚酰亚胺为振动膜的微型电场传感器。此种传感器利用了聚酰亚胺耐热、耐腐蚀并具有良好机械性能的特点,采用MEMS技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其他器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此传感器的工作原理,并通过计算机模拟确定了增强信号的方法,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。

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