作者：柏自奎,王爱华,谢长生 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2004年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2004040310 DOC编号：DOCCGJS2004040319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用脉冲YAG激光微加工方法 ，在三氧化二铝陶瓷基片上一面集成了RuO2 加热器 ，另一面集成了四单元电极制备了纳米气敏传感器阵列。对阵列的加热特性、热响应、温度分布及气敏性能作了深入的探讨。阵列单元平均能耗低于 5 0 0mW、热响应速度小于 2 0s、平面温度梯度小于 5℃ /mm、能充分拾取气敏材料的气敏信息 ，阵列气敏性能稳定性、重现性好。研究表明激光微加工方法制作纳米气敏传感器阵列是一种可控性好、灵活、方便、廉价的制作方法。

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