作者：张昭勇,秦明,黄庆安,朱昊 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2004年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2004020200 DOC编号：DOCGTDZ2004020209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 详细分析了一维热电薄膜型微传感器的优化设计模型 ，探讨了热阻、灵敏度和探测率与传感器几何尺寸之间的关系。分析的时候考虑到热电堆的热端与敏感面的距离 m对传感器性能的影响。经过分析得出 ：当 m(热电堆到热敏感面距离 )为定值时 ，灵敏度 S随梁长 l增大而增大 ，探测率 D*随着 l的增大先增大后减小 ；当 l为定值时 ，S和 D* 均随 m增大而减小。用曲线形式所表示的分析结果为此类传感器的优化设计提供了依据。

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