作者：张兆华,岳瑞峰,刘理天 单位：清华大学 出版：《清华大学学报(自然科学版)》2004年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQHXB2004010210 DOC编号：DOCQHXB2004010219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了解决传感器的数字化，提出了一种新的数字加速度传感器。它是由两个环形振荡器和一个混频器组成的频率输出型加速度传感器，其敏感元件是做在硅梁上的MOS环形振荡器。该传感器具有准数字输出、灵敏度高、温度系数低以及制作工艺简单等特点，其灵敏度可达到6.91kHz/g。分析了环形振荡器的频率特性，以及环形振荡器谐振频率和加速度的关系，设计并分析了加速度传感器的电路及物理结构，最后给出了试验结果。这种加速度传感器在军事和民用领域有广阔的应用前景。

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