作者：杨志华,余萍,肖定全 单位：国家仪表功能材料工程技术研究中心;重庆仪表材料研究所;中国仪器仪表学会仪表材料学会 出版：《功能材料》2004年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCL2004010020 DOC编号：DOCGNCL2004010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 半导体陶瓷型薄膜气敏传感器，具有灵敏度高、与气体反应快、制备成本较低等优点，已经成为近年传感器研究和开发的重点，是未来气敏传感器的发展方向之一。本文介绍了陶瓷型半导体薄膜气敏传感器常见的器件结构、薄膜材料的主要制备方法，部分主要的半导体金属氧化物薄膜气敏材料，以及近期相关的研究进展，并扼要分析了今后的发展方向。

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