《多孔硅传感器的研究进展》PDF+DOC
作者:崔昊杨,李宏建,谢自芳,赵楚军,彭景翠
单位:重庆西南信息有限公司
出版:《材料导报》2004年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCLDB2004030100
DOC编号:DOCCLDB2004030109
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综述了几种常见的多孔硅传感器的制备方法与敏感特性,并着重对气敏、湿敏、生物敏多孔硅传感器的传感机理做了详细的介绍,论述了多孔硅传感器研究的新动向,展望了它的未来发展。
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