作者：崔宏敏,张丽娟,王凡 单位：哈尔滨商业大学 出版：《哈尔滨商业大学学报(自然科学版)》2004年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLJS2004030100 DOC编号：DOCHLJS2004030109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了星用高精度压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计与电路设计及试验结果 ；对研制过程中的关键技术及解决方法进行了探讨 .传感器是依据硅微压阻效应原理 ，采用相关半导体平面工艺技术、微机械加工技术以及电子线路中信号调理与补偿技术 ，将压力敏感元件与调理电路一体化封装在壳体内 .传感器具有非线性好、工作温度范围宽、抗冲击过载、性能稳定可靠等特点

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