作者：郭文泰,金仁成,王海霞,高仁璟,张凤田,余俊,于耀东,张天超 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2004年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2004080200 DOC编号：DOCCGQJ2004080209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 组建了一套用于半导体微气压传感器的测试系统。该系统主要由真空装置和信号采集系统两部分组成。该系统为半导体微气压传感器的研制提供了实验平台，利用该系统对一种微加热板式传感器的微气压特性进行了实验测试及分析。

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