作者：黎海文,吴一辉,李也凡,张平,王淑荣,贾宏光 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2004年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2004030140 DOC编号：DOCWXJS2004030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微构件表面的摩擦状况和磨损机理与宏观构件有较大的区别，需一种能够测量微米尺度样品摩擦特性的专用仪器。给出了一种新型硅微力传感器的设计原理、结构、制作工艺及其弱信号采集方法。静态性能测试结果表明，传感器最大输出电压2000μV，重复性约为1 3%，灵敏度约为65V/N，分辨率为46μN，总精度为2 3%，基本上满足了微摩擦测试的需要。实验及计算表明，通过优化微力传感器的结构，改进芯片的封装，可以大大减少其体积，并提高其各项性能指标。

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