作者：曾磊,周嘉,黄维宁,黄宜平 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2004年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2004060240 DOC编号：DOCCGQJ2004060249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 由微机械加工技术和集成电路工艺制作的微悬臂梁，通过在其表面修饰以生化敏感层，能将电、热、应力和化学等信号变化转换成一个机械响应，配合以信号采集电路和测量系统，能够达到很高的灵敏度和精度。回顾微悬臂梁作为传感器的发展历程，介绍悬臂梁的工作原理，微梁的激励、检测方法以及基于微悬臂梁阵列传感器的优点，总结了世界上硅基微悬臂梁生化传感器的最新动态，并且展望微悬臂梁传感器这一新领域的应用前景。

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