作者：滕林,杨邦朝,杜晓松,周鸿仁,崔红玲,肖庆国 单位：中国物理学会;高压物理专业委员会;四川省物理学会 出版：《高压物理学报》2004年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYWL2004010160 DOC编号：DOCGYWL2004010169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《磁控溅射镱薄膜的制备及压阻特性》PDF+DOC2004年第06期 滕林,杨邦朝,杜晓松,周鸿仁 《镱薄膜应力传感器的工艺研究》PDF+DOC2000年第05期 杨春晖,罗南林,熊兴邦,左齐鸣 《镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究》PDF+DOC2000年第09期 杜晓松,杨邦朝,伍隽,王卉 《热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响》PDF+DOC2006年第09期 杜晓松,杨邦朝,滕林,宋远强,蒋亚东 《阵列式薄膜锰铜传感器的研究》PDF+DOC2005年第04期 滕林,杨邦朝,杜晓松 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC2000年第08期 杨保和,常明,杨晓萍,呈晓国 《微型压阻式压力传感器的研制》PDF+DOC1997年第01期 朱作云,李跃进,王文襄 《半导体薄膜自身的力敏参数的测量》PDF+DOC1995年第04期 许德华,祝冰,梁癸容 《锰铜薄膜的制备及压阻特性》PDF+DOC2004年第09期 杨邦朝,滕林,杜晓松,周鸿仁 《箔式高阻值低压锰铜压阻应力计的设计及动态标定》PDF+DOC2002年第02期 段卓平,关智勇,黄正平

    • 采用真空蒸发工艺制备镱薄膜传感器，在小于1GPa压力范围内对未经任何处理和300℃真空热处理1h两组镱薄膜传感器进行准静态加载标定，后者的压阻系数明显高于前者，并且大于箔式镱传感器的压阻系数，结合扫描电镜和电学性能测试分析，发现热处理有助于薄膜晶粒长大，降低薄膜电阻率，从而提高了镱薄膜传感器的压阻灵敏度。XRD测试分析结果表明，加压有促使薄膜晶粒长大的趋势。镱薄膜传感器制作工艺简单、性能稳定，在工业中具有广泛的用途。

    📙 相关资料

    1. 《磁控溅射镱薄膜的制备及压阻特性》PDF+DOC 使用直流磁控溅射的方法在聚酰亚胺上制备镱薄膜 ，XRD分析薄膜的晶体结构 ，SEM表征薄膜的形貌 ，利用一级轻气炮进行了 1 5GPa～ 2 5GPa的冲击加载压阻测试。研究结果表明 ，压阻系数依赖于薄膜的晶粒尺寸 ，经...
    2. 《镱薄膜应力传感器的工艺研究》PDF+DOC 介绍了镱薄膜应力传感器的工艺设计和制造过程 ，通过传感器的静态、动态标定及材料测试 ，验证了新的工艺设计和制造过程是正确可行的...
    3. 《镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究》PDF+DOC 采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器 ，研究了该传感器在 70MPa～ 2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻—压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好、工艺简单...
    4. 《热处理对金属薄膜压阻灵敏度的影响》PDF+DOC 采用磁控溅射法制备锰铜薄膜，溅射和真空蒸发法制备镱薄膜。对热处理前后薄膜的电学性能、微观形貌和结构进行了表征，并采用轻气炮和对顶砧装置对薄膜传感器进行了压阻性能测试，结果表明热处理后薄膜的压阻系数有很大提高。SEM和XRD的分析表明，压阻系数的提高是由于热处理后薄膜晶粒长大、缺陷减少、电阻率下降所致......
    5. 《阵列式薄膜锰铜传感器的研究》PDF+DOC 采用薄膜工艺制备适合高压力测量的阵列式传感器，文中介绍了该传感器的制造工艺、工作原理。动态加载实验表明，传感器阵列的压阻一致性好，无高压旁路效应，响应时间低于30ns，验证了薄膜锰铜传感器高压测试的准确性和可靠性。...
    6. 《金刚石薄膜压力传感器的研究》PDF+DOC 金刚石的许多性质(例如，高硬度、高弹性模量、高屈服强度、化学惰性、低摩擦系数和高热传导)使它成为微结构器件的优异材料。现已证明金刚石薄膜有压阻效应，这个性能打开了金刚石薄膜在压力传感器领域的应用。研究了金刚石薄膜的欧姆接触、热敏特性和压阻特性。研究表明金刚石薄膜可制成适于高温工作的传感器。...
    7. 《微型压阻式压力传感器的研制》PDF+DOC 用微机械加工技术开发出一种微型方杯压阻式压力传感器。文中介绍了微型压力传感器的设计思想和研制工艺中的关键技术，并给出了该传感器的参数。测试结果表明该传感器的主要性能已达到国内先进水平。...
    8. 《半导体薄膜自身的力敏参数的测量》PDF+DOC 半导体薄膜已用于力敏传感器。薄膜自身的力敏参数的测量是很必要的。但迄今只能得到薄膜与其衬底基片结合一体的复合样品测量值，因为很难把薄膜完好剥离下来，剥下的薄膜又不易测量。本文提出新的算法和公式。在淀积薄膜之前和之后，两次作常规测量．就可算出纯膜自身的参数。...
    9. 《锰铜薄膜的制备及压阻特性》PDF+DOC 为了锰铜传感器微型化，采用直流磁控溅射法制备适合高压力测量的锰铜薄膜，用X射线衍射和扫描电子显微镜技术分析了薄膜的结构和形貌，动态加载实验标定了锰铜薄膜的压阻系数。研究结果表明，晶粒尺寸决定了薄膜的压阻系数，经360℃热处理1h后，薄膜晶粒长大，压阻系数有着明显提高(K值达到0.02GPa–1)，性......
    10. 《箔式高阻值低压锰铜压阻应力计的设计及动态标定》PDF+DOC 设计了低压锰铜压阻传感器 ，并通过平板撞击实验标定了该传感器在 0 .3～ 9.4GPa范围内的压阻关系。标定曲线在 0 .3～ 1.5GPa范围内是线性的 ，对应的是传感器的弹性状态 ，而在...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。