《一种新型CMOS兼容湿度传感器》PDF+DOC

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2. 《多壁碳纳米管湿度传感器频率特性(英文)》PDF+DOC 为了研究测试频率对传感器性能的影响，改善多壁碳纳米管(multi-walled carbon nanotubes，MWCNTs)湿度传感器检测方法并提高传感器检测精度，对传感器频率特性进行了分析.在玻璃衬底上利用蒸镀和光刻技术制作了叉指电极，在电极表面涂敷了MWCNTs-SiO2敏感薄膜，最后通过烧......
3. 《基于MEMS技术新型湿度传感器的研制》PDF+DOC 描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理，利采用Matlab软件模拟了介电常数和湿度的关系，采用MEMS技术制造了新型湿度传感器，设计了测试方案，测量和分析了该新型湿度传感器的灵敏度特性和迟滞特性，分析了测试数据产生偏差的原因。测试结果显示，湿度传感器的灵敏度为单位湿度......
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9. 《介电常数微弱变化的高灵敏度测试技术》PDF+DOC 提出了一种测量介电常数微弱变化的新型传感器。该传感器利用幅度相同、相位相反的两路信号的相互抵消作用，来消除背景噪声，达到提高灵敏度的作用。此装置主要包括两个相同的威尔金森功分器、一个同相巴伦和一个180&#176；反相巴伦。通过对去离子水与不同浓度乙醇溶液之间介电常数的差异的测量可知，该传感......
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