作者：张为,姚素英,张生才,赵毅强,张维新 单位：西安交通大学 出版：《西安交通大学学报》2004年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXAJT2004020170 DOC编号：DOCXAJT2004020179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC2015年第04期 何洪涛,王伟忠,杜少博,胡立业,杨志 《陶瓷压阻式机油压力传感器研制》PDF+DOC2017年第05期 邬林,陈丛,钱江蓉,赵潇,胡国俊 《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC2016年第06期 王伟忠,何洪涛,卞玉民,杨拥军 《一种SOI高温压力传感器敏感芯片》PDF+DOC2014年第04期 王伟,梁庭,李赛男,洪应平,葛冰儿,郑庭丽,贾平岗,熊继军 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC2010年第08期 孙小龙 《MEMS SOI高温压力传感器芯片》PDF+DOC2018年第11期 郭玉刚,饶浩,陶茂军,田雷,吴佐飞 《多晶硅高温压力传感器的芯片内温度补偿》PDF+DOC2004年第01期 庞科,张生才,姚素英,张为 《压阻式压力传感器及其应用电路设计》PDF+DOC2002年第05期 才滢,毕鹏 《碳化硅高温压力传感器的研究进展与展望》PDF+DOC2011年第01期 庞天照,严子林,唐飞,王晓浩 《基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究》PDF+DOC2008年第12期 刘元浩,赵立波,赵玉龙,蒋庄德,田边,孟超

    • 采用有限元分析工具ANSYS完成了一种矩形弹性膜绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器的优化设计，制作出样品，并与相同结构、工艺的多晶硅压力传感器进行了对比测试.结果表明：1∶2的膜片宽长比可以使SOI压力传感器的灵敏度达到220mV/MPa，远大于多晶硅压力传感器的灵敏度(约50mV/MPa).此外，该传感器能够工作在200℃的高温环境中，有良好的长期稳定性，30d内的零点时间漂移为0 12%。

    📙 相关资料

    1. 《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径，根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡，开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSYS软件进行敏感结构的仿真和设计，解决了SiC压力传感器加工工艺中......
    2. 《陶瓷压阻式机油压力传感器研制》PDF+DOC 针对传统滑线式机油压力传感器不足，设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器。利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试，实验结果显示：其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925%F.S.，完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差≤2%F.S.的要求，并通过了2~3倍量程的过载、爆破......
    3. 《一种MEMS高温压力传感器》PDF+DOC 基于硅压阻效应，利用微电子机械系统(MEMS)技术，研制了一种可用于多种领域的高温绝压压力传感器。为了达到耐高温的目标，传感器芯片采用绝缘体上硅(SOI)硅片加工，并利用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析。同时，对传感器的电阻结构、金属布线系统、传感器支撑层键合技术及流片工艺进行......
    4. 《一种SOI高温压力传感器敏感芯片》PDF+DOC 从传感器的受力结构、能量转化结构和金属引线三个方面对SOI压阻式压力传感器芯片进行高温设计，计算出每个因素所造成的影响并与外部气压对传感器造成的影响进行对比，并给出了压阻的工艺尺寸和掺杂浓度。通过工艺制备和封装，研制出耐高温压力传感器芯片，常温压力测试结果表明传感器敏感芯片在常温下灵敏度较高，非线性......
    5. 《用有限元仿真计算压阻式MEMS压力传感器的输出》PDF+DOC 讲述了一种用Coventorware对压阻式MEMS压力传感器进行有限元仿真的方法，用这种方法可以直接计算出传感器在额定压力下的信号输出。这种方法可以使MEMS压力传感器设计过程变得精确、直观和简单，改变了以往设计过程中通过经验来确定压力传感器膜厚度和电阻条位置的方式。...
    6. 《MEMS SOI高温压力传感器芯片》PDF+DOC 研制了一种基于微机电系统(MEMS)技术的压阻式绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器芯片。压力敏感电阻器与衬底之间采用二氧化硅介质隔离，解决了传统的PN结隔离方式在高温条件下的漏电失效问题。研制的高温压力芯片压力量程为0~2 MPa，室温1 m A条件下满量程输出信号达到100 m V以上，非线性小于......
    7. 《多晶硅高温压力传感器的芯片内温度补偿》PDF+DOC 提出了一种新的改善传感器温度特性的方法。通过在压力传感器芯片上集成多晶硅电阻网络与温度传感器 ，借助传感器信号处理单元 ，可以方便地实现对灵敏度系数的补偿。经过补偿 ，传感器的零点温漂达到 1&#215；10 - 4/℃ ，灵敏度温漂低于 - 2&#215；...
    8. 《压阻式压力传感器及其应用电路设计》PDF+DOC 介绍了压阻式传感器的工作原理以及相关应用电路 ，并给出了一个应用示例加以说明...
    9. 《碳化硅高温压力传感器的研究进展与展望》PDF+DOC 碳化硅材料由于其优良的电学、机械和化学特性，对于适用于高温恶劣环境下压力传感器等领域的开发，有着广阔的前景，逐渐为人们所重视。简单介绍了碳化硅的材料特性，阐述国外碳化硅高温压力传感器的最新发展成果，比较电容式、压阻式和光学结构压力传感器的结构、特点，分析我国碳化硅压力传感器发展问题与挑战。...
    10. 《基于压力传感器封装的波纹膜片的结构研究》PDF+DOC 针对隔离型压力传感器封装的特点，介绍了波纹膜片的设计过程并利用有限元分析方法对影响波纹膜片性能的主要因素—膜片厚度和波纹深度进行了分析研究，对波纹膜片的结构进行优化，改善了封装有波纹膜片的压力传感器的线性度和灵敏度。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。